Компания «Вакуумные системы и электроника» разрабатывает, проектирует и строит:

• Компактные (настольные) учебные и исследовательские установки;
• Крупные исследовательские и производственные установки;
• Безмаслянные вакуумные посты с низким уровнем вибраций;
• Компоненты установок.

Настольные учебные и исследовательские установки

Квадрупольный масс-спектрометр с откачкой и напуском газа

Учебная установка для атомного практикума Новосибирского государственного университета укомплектована импортными компонентами от ведущих производителей вакуумной техники. Составлено руководство по эксплуатации для студентов, позволяющее максимально упростить проведение курсовых исследовательских работ.

Установка для молекулярного практикума НГУ

На этой установке ведутся работы по обучению студентов навыкам работы с вакуумной техникой и получению газовых разрядов.

Камера укомплектована различного типа насосами и вакуумметрами. Металлокерамические электрические вводы позволяют получать в установке как высоковольтный тлеющий, так и сильноточный дуговой газовые разряды. Смотровое окно на фланце Ду160 позволяет удобно наблюдать за происходящим внутри вакуумной камеры.

Установка по облучению ВУФ образцов в вакууме

Исследовательская установка спроектирована и изготовлена ООО «ВСЭ» для Белгородского государственного технического университета.

В составе установки 12 эксимерных ламп, излучающих вакуумный ультрафиолет, каждая на отдельном фланце. Верхняя крышка камеры с лампами открывается и сдвигается на шарнире. Образцы охлаждаются жидким азотом или нагреваются до 150°C. Установка оснащена принудительной вентиляцией для удаления образующегося озона.

Установка для исследования процессов нанесения тонких пленок

Разработана и изготовлена ООО «ВСЭ» по техническому заданию заказчика для Лаборатории экспериментальной физики Центра научно-технического творчества НГУ.

Диаметр камеры 70 см, длина около 2 м. Несмотря на большее количество фланцев, даже без прогрева камеры был получен вакуум 4×10^–7 торр на турбомолекулярных насосах.

Установка на различных этапах монтажа. На двери камеры расположено большое количество смотровых окон для наблюдения за процессом напыления. Рукояти уплотнения двери — на подшипниках, что облегчает работу с установкой студенткам.

В составе установки:

• Магнетроны и ионный источник с системами питания (ООО «Прикладная электроника»);
• Цифровые регуляторы расхода газа (Horiba);
• Система нагрева подложек галогенными лампами (ООО «ВСЭ»);
• Охлаждаемый и регулируемый по высоте механизм вращения подложек (ООО «ВСЭ»)

и другие компоненты. Изображения некоторых компонентов, изготовленных ООО «ВСЭ», представлены ниже в разделе «Компоненты установок».

Установка полностью автоматизирована, затворы и клапаны пневматические. Откачка может осуществляться как в режиме ручного управления, так и нажатием одной кнопки. Компьютерное управление системой напуска газа (3 канала) и системами питания магнетронов и ионного источника. Показания вакуумметров, параметры состояния насосов, затворов, расход газов отображаются на мониторе компьютера.

Три сверхвысоковакуумные камеры с подставками, поставленные ООО «ВСЭ» по техническому заданию заказчика

Вакуум до 10^–11 торр. Обеспечено точное расположение патрубков, например, угол 2 градуса для дифракции электронов. Фланцы как стандартные CF, так и нестандартные, по чертежам заказчика.

Галогенный нагреватель подложек с водяным охлаждением мощностью 1,2 кВт

Пример подключения трасс и вводов

На фланец установлены электрические вводы (4 шт.), напуск воздуха, масс-спектрометрический модуль, трехканальная трасса подачи газов.