Измерение и контроль расхода газов и жидкостей

 

horiba

 

horiba

 

Компания Horiba STEC является одним из главных мировых производителей высокоточного оборудования для контроля расхода и состава газа и жидкости. Компания стала первым разработчиком цифровых и компактных расходомеров и регуляторов расхода, которые в настоящее время стали де/факто стандартом в высокотехнологичных отраслях промышленности.

Технологии современных полупроводниковых устройств перешли на нанотехнологический уровень. Это означает, что производственные процессы в этой области требуют особо точного контроля газов и жидкостей для создания тонких пленок, а также компактных устройств мониторинга, которые позволяют контролировать процессы, происходящие непосредственно внутри производственной камеры.

Цифровые модели регуляторов расхода Horiba протестированы и отобраны сегодня для всех своих производств такими известными производителями полупроводникового оборудования, как Applied Materials (США) и Tokyo Electron (Япония).

Подробнее о средствах измерения и контроля расхода жидкостей и газов смотрите в Каталоге. (PDF 524 кБ)

Измерение и контроль расхода газов и жидкостей