Установка предназначена для нанесения плоских и трехмерных контактов на полупроводниковые структуры. Возможность поочередного напыления не менее 4 материалов  Ni, Al, Au, In(из 2-х испарителей) на кремниевую подложку 100 мм за один технологический процесс.

Возможность визуального контроля процесса начала и конца испарения исходных материалов (фиксирование начала и конца испарения).

Возможность контроля температуры источника и подложки.

Ток испарителя задается контроллером по временной диаграмме.

Очистка подложки осуществляется ионным источником в мягком режиме, без повреждения структуры.

Измерение плотности потока испаряемого вещества ионизационными датчиками.

Измерение, контроль толщины покрытий, с контролем ресурса датчика толщины покрытий.

Нагрев подложек до 200°С, с системой контроля и с системой блокировки на перегрев.

Подложкодержатели, датчики, экраны и источники регулируются по высоте, чтобы обеспечить регулировку расстояния от испарителя до подложки от 200 до 600 мм.

От близкой по компоновке установки УВН-71 отличает больший объем вакуумной камеры, большее число источников (5 независимых испарителей), наличие ионного источника для мягкой очистки структур или ассистирования. Откачка полностью безмаслянная криогенным насосом.

Три сверхвысоковакуумные камеры с подставками, поставленные ООО «ВСЭ» по техническому заданию заказчика

Три сверхвысоковакуумные камеры с подставкамиВакуум до 10–11 торр. Обеспечено точное расположение патрубков, например, угол 2 градуса для дифракции электронов. Фланцы как стандартные CF, так и нестандартные, по чертежам заказчика.

Галогенный нагреватель подложек с водяным охлаждением мощностью 1,2 кВт

Галогенный нагреватель подложек с водяным охлаждением

Пример подключения трасс и вакуумных вводов

Пример подключения трасс и вакуумных вводовНа фланец установлены электрические вводы (4 шт.), напуск воздуха, масс-спектрометрический модуль, трехканальная трасса подачи газов.

Установка по облучению ВУФ образцов в вакуумеИсследовательская установка спроектирована и изготовлена ООО «Вакуумные системы и электроника» для Белгородского государственного технического университета.

В составе установки 12 эксимерных ламп, излучающих вакуумный ультрафиолет, каждая на отдельном фланце. Верхняя крышка камеры с лампами открывается и сдвигается на шарнире. Образцы охлаждаются жидким азотом или нагреваются до 150°C. Установка оснащена принудительной вентиляцией для удаления образующегося озона.

Установка для исследования процессов нанесения тонких пленокУстановка для исследования процессов нанесения тонких пленок разработана и изготовлена компанией «Вакуумные системы и электроника» по техническому заданию Заказчика для Лаборатории экспериментальной физики Центра научно-технического творчества НГУ.

Установка для исследования процессов нанесения тонких пленокДиаметр камеры 70 см, длина около 2 метров. Несмотря на большее количество фланцев, даже без прогрева камеры был получен вакуум 4×10–7 торр на турбомолекулярных насосах.

Установка для исследования процессов нанесения тонких пленокУстановка на различных этапах монтажа. На двери камеры расположено большое количество смотровых окон для наблюдения за процессом напыления. Рукояти уплотнения двери — на подшипниках, что облегчает работу с установкой студенткам.
Установка полностью автоматизирована, затворы и клапаны пневматические. Откачка может осуществляться как в режиме ручного управления, так и нажатием одной кнопки. Компьютерное управление системой напуска газа (3 канала) и системами питания магнетронов и ионного источника. Показания вакуумметров, параметры состояния насосов, затворов, расход газов отображаются на мониторе компьютера.

Cостав установки для исследования процессов нанесения тонких пленок:

  • Магнетроны и ионный источник с системами питания (ООО «Прикладная электроника»);
  • Цифровые регуляторы расхода газа (Horiba);
  • Система нагрева подложек галогенными лампами (ООО «ВСЭ»);
  • Охлаждаемый и регулируемый по высоте механизм вращения подложек (ООО «ВСЭ»);
  • другие компоненты.

На установке для молекулярного практикума НГУ ведутся работы по обучению студентов навыкам работы с вакуумной техникой и получению газовых разрядов.

Камера установки укомплектована различного типа насосами и вакуумметрами. Металлокерамические электрические вводы позволяют получать в установке как высоковольтный тлеющий, так и сильноточный дуговой газовые разряды. Смотровое окно на фланце Ду160 позволяет удобно наблюдать за происходящим внутри вакуумной камеры.