Мелкосерийное производство данной модели установок магнетронного напыления развивается в нашей компании с 2010г.
Установка предназначена для многослойного напыления металлов и диэлектриков на твёрдые образцы.

Это оптимальная конфигурация вакуумной системы для решения множества исследовательских и производственных задач.

Данная установка успешно используется для серийного выпуска высокотехнологичной продукции.

D-образная  камера с большой дверью  даёт возможность размещения не менее 10 подложек диаметром 50 мм или 6 подложек диаметром 100 мм. Рабочий цикл при одностороннем напылении составляет 2-3 часа.

 Специально разработанный подложкодержатель легко снимается вручную и может разместиться на столе для удобства загрузки.

Оснащён шаговым двигателем и возможностью регулировки по высоте. Точность позиционирования (менее 1 мм) обеспечивается оптическими датчиками положения. Предусмотрен встроенный нагрев подложек для очистки поверхности, улучшения адгезии, выдерживания стехиометрии при заданной температуре.

 
Конструкция установки предусматривает два магнетрона постоянного тока для металлов (с возможностью работы в импульсном режиме), один ВЧ магнетрон для диэлектрика. Магнетроны располагаются в нижней части вакуумной камеры под подложкодержателем, могут регулироваться по высоте, комплектуются пневматическими заслонками. Подача газа осуществляется отдельно на каждом магнетроне через газовое кольцо. Для защиты от перепыления с соседнего магнетрона предусмотрен съёмный экран.

Полная автоматизация с сохранением и воспроизведением последовательности действий технологических процессов. 

Дополнительные опции: датчик толщины покрытий (кварцевый резонатор), квадрупольный масс-спектрометр, прецизионный цифровой регулятор расхода газа, мощный источник бесперебойного питания, позволяющий завершить техпроцесс в случае отключения электропитания.