Мелкосерийное производство с 2009 г.

Возможности установки

Установка разработана специально для отработки технологий нанесения покрытий и проведения научных исследований в области материаловедения, приборостроения, электроники, нанесения оптических покрытий, микромеханических устройств (MEMS)  и др.
Оптимально соответствует целям и задачам учебного процесса ВУЗов.
Простота использования сочетается с высоким качеством получаемых покрытий за счёт автоматизации  управления вакуумной системой и процесса напыления. Высокая повторяемость результатов позволяет получать серии образцов с заданными свойствами.
Установка предусматривает возможность нанесения  различных типов металлов и диэлектриков как на твёрдые, так и на дисперсные образцы. Толщина покрытий от десятков нанометров до нескольких микрон.

Основные характеристики

- система безмасляной откачки обеспечивает высокую чистоту осаждаемых покрытий. Предельное остаточное давление - 1*10-7мБар.
- специально разработанная конструкция вакуумной камеры для оптимизации процесса в малом объёме. Выполнена из нержавеющей стали, обеспечивает распыление сверху вниз. Прозрачное окно на передней части камеры позволяет визуально контролировать процесс осаждения покрытий
Съемный верхний фланец предусматривает возможность установки дополнительного магнетрона и ионного источника на месте двух  портов. Специальный фланец для установки датчика толщины покрытий.
- минимизация диаметра нераспыляемой центральной части магнетрона. Магнетрон с заслонкой выполнен на фланце в стандарте ISO100 с возможностью регулировки высоты расположения мишени относительно фланца.
Мощность разряда, до 1,5 кВт
Однородность наносимых покрытий: ±10%
- диапазон плавного регулирования выходной средней мощности: от 0,1 до 3 кВт
- подложкодержатель с шаговым двигателем и оптическими датчиками обеспечивает точность положения до 0,5 мм. Количество подложек диаметром  90 мм – 4 шт.
Ввод вращения в вакуум с дифференциальной откачкой.
- подача газа осуществляется непосредственно через магнетрон (опция)
- предусмотрена возможность измерения толщины покрытия (опция)
- устройство нагрева подложкодержателя (опция)
-  передача данных и управление через ПК (опция)
-  комплектующие от ведущих мировых производителей

Система управления - полуавтоматическая. Реализована на программируемом контроллере с  управлением откачкой, потоками газов, электромагнитными клапанами, шаговым двигателем, технологическими источниками питания. Наличие системы блокировок по потоку воды и по допустимому вакууму. Наличие цветного сенсорного экрана.

Возможная комплектация:

Система измерения толщины металлического покрытия - опционально (обеспечивает измерение скорости осаждения, толщину покрытия, ресурс кристалла).
Тип датчика — кварцевые микровесы, с пневматической заслонкой.

Масса: 87 кг.

Размеры установки (длина х ширина х высота): 1050х700х670 мм.