Мы производим круглые планарные магнетроны с косвенным охлаждением мишени для систем напыления металлических и диэлектрических покрытий, в том числе для напыления магнитных материалов. Конструкция магнетронов позволяет их использовать в установках с высоким предельным вакуумом.

Рис. 1. Сборка магнетрона.

Основные преимущества наших магнетронов:

1. Специальная конструкция магнетрона дает возможность работы с ВЧ источником питания, что позволяет производить напыление с использованием диэлектрической мишени без добавления реактивных газов.
2. Косвенное охлаждение мишени разрешает использование хрупких при нагреве материалов, что исключает попадания охлаждающей жидкости в камеру в случае возникновения трещин и разрешения мишени. При этом специальная технология сборки магнетрона – вакуумная пайка, дает преимущества в чистоте и предельно допустимом рабочем вакууме.
3. Возможность регулировок по высоте и тонкой регулировке по углу наклона магнетрона, что дает дополнительные возможности при получении высокой равномерности покрытий.
4. Прижим мишени осуществляется особым образом, что допускает использование не только стандартных мишеней, но и мишеней с повышенной или пониженной толщиной, что дает больше гибкости в выборе материалов для напыления.
5. Наличие газового кольца для подачи рабочего газа непосредственно в область разряда увеличивает стабильность разряда и повторяемость процессов, что положительно сказывается на качестве итоговых покрытий.
6. Использования магнитных сборок из специальных сплавов SmCo (Самарий-Кобальт) и неодим-железо-бор (NdFeB) дает высокую производительность распыления материалов и возможность напыления магнитных материалов, как железо, кобальт и никель и др.

Для работы при повышенных окружающих температурах (например, при прогреве подложек до 800⁰С или прогреве камеры) мы предлагаем магнетроны с дополнительно охлаждаемым корпусом.

Возможно изготовление специальной конфигурации по индивидуальному техническому заданию заказчика, в том числе прямоугольных планарных магнетронов, магнетронов с цилиндрической мишенью и магнетронов с полым катодом.