Высокочастотные источники питания и генераторы

Представляем продукцию компании COMDEL - лидера мирового рынка в разработке и производстве инновационных источников питания (RF и DС) и технологических устройств для полупроводниковых производств, производств плоских дисплеев и промышленного нагрева. Продукция компании включает RF генераторы, авто согласующие полное сопротивление мониторы и источники питания для электро-статических столов-держателей (chuck) подложек. Вся продукция COMDEL сертифицирована в соответствии с требованиями стандартов ETL, NRTL, SEMI F47 и европейских директив CE.

Все производимые высокочастотные (RF) источники основаны на S-Технологии, разработанной в COMDEL, которая обеспечивает быструю и стабильную настройку согласующего устройства и генератора при изменении параметров плазмы в рабочей камере. Это позволяет выполнять все требования технологического процесса любой сложности и продлевает срок службы генераторов и согласующих устройств, а также повышает надежность всей системы в целом.

Запатентованная S-технология компании Comdel.

• Оптимизирует производительность усилителя, уменьшая при этом разницу коэффициентов усиления по мощности, за счёт отклонения полного сопротивления плазмы;
• Устраняет нестабильность ВЧ плазмы, уберегает от головной боли согласования длин линий электропередач, условий несоответствия и снимает вопросы о надёжности процессов.

Поставляет:

• Улучшенный воспроизводимость процессов со стабильной панелью листового приемного устройства.
• Увеличение времени работы системы, позволяющее автоматизировать устройство.
• Повышенную гибкость в выборе передачи длин линий.
• Улучшенную надежность генератора(ов).
• Увеличенный срок службы механических компонентов в системе согласования.

Современное поколение ВЧ-генераторов компании Comdel создана на основе S-технологии – новой стабилизирующей технологией, которая сильно уменьшает взаимодействие плазменной камеры и согласующей схемы с генератором. S-Технология исключает колебания или самозапирания которые могут возникнуть во время процесса отладки или при изменении условий процессов. Эта повышенная стабильность, уменьшает время развития процесса, улучшая, при этом, процесс воспроизводимости. Так как колебания могут повредить согласующую схему и ВЧ-генератор, S-технология увеличивает срок службы этих компонентов и значительно повышается надежность всей системы.

Традиционные ВЧ системы полагаются на согласующие устройства, которые модифицируют полное сопротивление электрической цепи для того чтобы генератор мог сохранять стабильную производительность. Эта система прекрасно работает в стабильных, хорошо понятных условиях процесса. В процессах натекания газа давление камер и уровень мощности меняются, и электрическая система, состоящая из плазмы, согласующего устройства и генератора разбалансироваться. В результате возникает флуктуация которая изменяться быстрее, чем согласующее устройство может успевать отслеживать. Эта флуктуация может повредить согласующее устройство и ВЧ-генератор, а также, привести к неправильной обработке пластины.

Заменив электрическую конфигурацию усилителей в новейших генераторах, компания Сomdel создала буферную зону между плазмой в камере и генератором. Запатентованная стабилизирующая технология Comdel снимает нагрузку с согласующей устройства, создавая при этом, наиболее стабильную и надежную плазму. Эта стабильная плазма не зависит более от конкретной электрической конфигурации цепи («генератор – плазма»). Со стабилизирующей S-технологией, вы можете рассчитывать на стабильную поставку ВЧ-мощности для лучшего процесса воспроизводимости от загрузки к загрузке и от установки к установке.