Источники питания для электростатических столов

Источники питания для электростатических столов-держателей подложек (chucks).

Источники серии ESC* разработаны специально для обеспечения стабильной подачи напряжения 1, 2, 3 и 5 кВ на электростатические столы-держатели в полупроводниковых системах передачи подложек (wafers). Отвечают всем требованиям безопасности, предъявляемым ETL, NRTL и СЕ.

Опции:

• ESC OEM  встраиваемая модель.
• ESC Dual  один выходной разъём, встроенное монитор (показывает напряжение и ток).
• ESC Mini  конструкция системы: Xsmall (6,35 В x 12,06 Ш x 24,13 Г), размеры даны в см.
• ESC 5  на выходе 5 кВ (однополярный), источник питания доступен в положительной или отрицательной полярности.

Характеристики:

• Сопротивление между входом и выходом: > 500 МОм.
• Выходное напряжение/ток:

  Модель	ESC 1	ESC 2	ESC 3	ESC 5
  Биполярный, В	+/- 500	+/- 1000	+/- 1500	N/A
  Однополярный, кВ	1	2	3	5
  Максимальный ток, мА	10	3	2	1

• Стабилизация на выходе: 0,1%, от 0 до полной нагрузки.
• Пульсация на выходе: менее чем 0,2%.
• Линейность на выходе: лучѿе чем 0,1%.
• Баланс выходного напряжения: лучѿе чем 0.5% для соответствующих нагрузок.
• Входная мощность (постоянный ток): 3ѿтырьковый, типа Molex, односторонний, быстро разъединяемый.
• Постоянный ток на выходе: разъёмы MHV на зажимах HV, BNC-коннектор.
• Дистанционный интерфейс: 25-штырьковый разъем D типа, розетка (DB-25f).
• Охлаждение: не требуется.

Общие технические характеристики:

• Размеры (В x Ш x Г): 9 x 20,3 x 16 (см).
• Вес: 0,9 кг.