Источники питания для электростатических столов

Печать
Источники питания для электростатических столов-держателей подложек (chucks).
Описание

comdel

Источники питания для электростатических столов-держателей подложек (chucks).

esc

Источники серии ESC* разработаны специально для обеспечения стабильной подачи напряжения 1, 2, 3 и 5 кВ на электростатические столы-держатели в полупроводниковых системах передачи подложек (wafers). Отвечают всем требованиям безопасности, предъявляемым ETL, NRTL и СЕ.

Опции:

  • ESC OEM  встраиваемая модель.
  • ESC Dual  один выходной разъём, встроенное монитор (показывает напряжение и ток).
  • ESC Mini  конструкция системы: Xsmall (6,35 В x 12,06 Ш x 24,13 Г), размеры даны в см.
  • ESC 5  на выходе 5 кВ (однополярный), источник питания доступен в положительной или отрицательной полярности.

Характеристики:

  • Сопротивление между входом и выходом: > 500 МОм.
  • Выходное напряжение/ток:
    Модель ESC 1 ESC 2 ESC 3 ESC 5
    Биполярный, В +/- 500 +/- 1000 +/- 1500 N/A
    Однополярный, кВ 1 2 3 5
    Максимальный ток, мА 10 3 2 1
  • Стабилизация на выходе: 0,1%, от 0 до полной нагрузки.
  • Пульсация на выходе: менее чем 0,2%.
  • Линейность на выходе: лучѿе чем 0,1%.
  • Баланс выходного напряжения: лучѿе чем 0.5% для соответствующих нагрузок.
  • Входная мощность (постоянный ток): 3ѿтырьковый, типа Molex, односторонний, быстро разъединяемый.
  • Постоянный ток на выходе: разъёмы MHV на зажимах HV, BNC-коннектор.
  • Дистанционный интерфейс: 25-штырьковый разъем D типа, розетка (DB-25f).
  • Охлаждение: не требуется.

Общие технические характеристики:

  • Размеры (В x Ш x Г): 9 x 20,3 x 16 (см).
  • Вес: 0,9 кг.

Рецензии

Еще нет отзывов об этом товаре.