Одночастотные RF источники питания

Печать
Одночастотные RF источники питания
Описание

comdel

Одночастотные RF источники питания

Разработаны под высокие требования плазменных полупроводниковых установок. Приложения включают в себя: травление, RIE, ICP, RF напыление, CVD и PVD, также как и процессы индуктивного и диэлектрического нагрева в промышленных установках.

Низкочастотные источники серий CLF и CLX

CLF серия

comdel

Диапазон установленных мощностей от 600 Вт до 10'000 Вт с фиксированными частотами от 20 кГц до 2 МГц (серия CLX), от 20 кГц до 450 кГц (серия CLF) и возможностью специальной настройки в пределах ± 10% в полосе пропускания частоты.

Спецификация:

  • Частотная устойчивость - ±1%
  • Нестабильность выходного напряжения или тока по сети -< 1%
  • Нестабильность выходного напряжения или тока по нагрузке  < 3%
  • Паразитное излучение  30 Дб

Характеристики Half-Rack источников

Модель CLF 500 Half Rack CLF 1000 Half Rack
Выходная мощность, Вт 500 1000
Частота, кГц 20-50 20-50
Входное линейное напряжение 100-130 В (115 В)
187-239 В (208 В)
1 фаза; 50/60 Гц
100-130 В (115 В)
187-239 В (208 В)
1 фаза; 50/60 Гц
Линейный ток 7 А max. (115 В)
4 А max. (208 В)
12,5 А max. (115 В)
7 А max. (208 В)
Стандартный выходной разъем Тип N Тип N
Охлаждение Принудительное воздушное охлаждение Принудительное воздушное охлаждение
Размеры (В x Ш x Г), см 17,8 x 20,3 x 40,6 17,8 x 20,3 x 40,6
Вес, кг 9,1 9,1

Характеристики Full-Rack источников

Модель CLF 500 Full Rack CLF 1000 Full Rack CLF 5000 Full Rack
Выходная мощность, Вт 500 1000 5000
Частота, кГц 20-450 20-450 20-450
Входное линейное напряжение 115/208/230 В
1 фаза; 50/60 Гц
115/208/230 В
1 фаза; 50/60 Гц
185  230 В
3 фазы; 50/60 Гц
Линейный ток 8 А max. (115 В)
5 А max. (208 В)
15 А max. (115 В)
9 А max. (208 В)
25 А
Стандартный выходной разъем N или C N или C HN
Охлаждение Принудительное воздушное охлаждение Принудительное воздушное охлаждение Вода: 2 галлона/мин (7,6 литров)
Размеры (В x Ш x Г), см 13,3 x 48,3 x 41,3 13,3 x 48,3 x 41,3 26,7 x 48,3 x 61
Вес, кг 23 32 91

Опции:

  • Доступен большой выбор входного линейного напряжения.
  • Оператор Master/Slave доступен только в fullrack моделях.

CLX серия

comdel

Частота: любая фиксированная частота от 20 кГц до 2 МГц*. Частотная устойчивость: 350 кГц +/ 1%. *CLX 600/H: любая фиксированная частота от 20 кГц до 800 кГц.

Характеристики CLX серии

Модель CLX 600/H CLX 1000 CLX 2500 CLX 5000 CLX 10000
Выходная мощность, Вт 600 1000 2500 5000 10000
Нелинейное (гармоническое) искажение менее
чем 35 Дб
менее
чем 40 Дб
менее
чем 40 Дб
менее
чем 40 Дб
менее
чем 40 Дб
Входное линейное напряжение/
линейный ток
115/208/220 В;
1 фаза; 50/60 Гц/5 A
187-229 В;
3 фазы; 50/60 Гц/5 А (1 фаза)/ 9 А
187-229 В;
3 фазы; 50/60 Гц/13 A
187-229 В;
3 фазы; 50/60 Гц/25 A
187-229 В;
3 фазы; 50/60 Гц/50 A
Управляющий разъём ввода/вывода 15-штырьковый
сверх-миниатюрный
(тип D, розетка)
15-штырьковый
сверх-миниатюрный
(тип D, розетка)
15-штырьковый
сверх-миниатюрный
(тип D, розетка)
25-штырьковый
сверх-миниатюрный
(тип D, розетка)
15-штырьковый
сверх-миниатюрный
(тип D, розетка)
Стандартный выходной разъем N или C N или C HN или N HN, LC или 7/16 LC или 7/16

Механические характеристики:

Модель CLX 600/H CLX 1000 CLX 2500 CLX 5000 CLX 10000
Размеры
(ВxШxГ), см
17,8 x 24 x 48,3 17,8 x 48,3 x 48,3 17,8 x 48,3 x 48,3 26,7 x 48,3 x 61 RF:
13,3 x 48,3 x 61
DC:
22,2 x 48,3 x 61
Вес, кг 16 18 34 75 RF: 27
DC: 163
Охлаждение Принудительное
воздушное
охлаждение
Принудительное
воздушное
охлаждение
Вода:
1,5 галл./мин
(5,7 литров)
Вода:
2 галл./мин
(7,6 литров)
Вода:
4 галл./мин
(15,1 литров)
Сертификат ETL Marked ETL Marked, Semi F47 ETL Marked, Semi F47   ETL Marked, Semi F47

Опции:

  • Доступен больѿой выбор входного линейного напряжения(переменный ток).
  • Оператор Master/Slave.
  • Внеѿнее управление частотой.
  • DeviceNet.

Высокочастотные источники серий CB, СX и CPS

  • Стандартные фиксированные частоты серии СВ: 13.56, 27.12, 40.68 и 60 МГц с выбором мощностей от 50 Вт до 5000 Вт
  • Серия CX: выбор мощностей от 600 Вт до 3500 Вт, с возможностью выбора фиксированных частот из ряда: 2.00, 3.39, 13.56, 27.12 МГц.
  • Серия CPS: выбор фиксированных частот в диапазоне от 2.00 до 80 МГц, выбор мощностей из ряда: 500 Вт,1000 Вт. Обеспечивают стабильность по частоте ± 0.005%, по мощности ± 2%.

Серия CB

comdel

  • Частота: Любая фиксированная частота от 13.56 до 60 МГц, стандартная модель.
  • Частотная устойчивость: +/ 0.005%.
  • Частота напряжения сети питания: 50/60 Гц.
  • Разъём вода/вывода: стандарт: 15-штырьковый, D типа (розетка).
    опции: 25-штырьковый, D типа (розетка).
  • Нелинейное (гармоническое) искажение: менее чем 35 Дб.

Характеристики:

Просмотр таблицы в новом окне

Модель CB 50 CB 200 CB 300 CB 500 CB 600 CB 1000 CB 1250 CB 5000
Размеры
(В x Ш x Г), см
10,2 x 12,7 x 30,5 10,2 x 12,7 x 30,5 10,2 x 12,7 x 30,5 10,2 x 12,7 x 30,5 10,2 x 12,7 x 30,5 12,7 x 20,3 x 40,6 12,7 x 20,3 x 40,6 13,3 x 48,3 x 56
Вес, кг 6,8 6,8 6,8 6,8 6,8 16 16 43
Охлаждение Вода:
0,25 галл./мин
(0,95 литров)
Вода:
0,25 галл./мин
(0,95 литров)
Вода:
0,25 галл./мин
(0,95 литров)
Вода:
0,5 галл./мин
(2 литрa)
Вода:
0,5 галл./мин
(2 литрa)
Вода:
1 галл./мин
(3,8 литров)
Вода:
1 галл./мин
(3,8 литров)
Вода:
3 галл./мин
(11,4 литров)
Линейное напряжение 110/208/230 В;
1 фаза/
0,9/0,5/0,4 А
110/208/230 В;
1 фаза/
4/2/1,5 А
110/208/230 В;
1 фаза/
5/3/2,5 А
110/208/230 В;
1 фаза/
9/5/4 А
110/208/230 В;
1 фаза/
11/6/5 А
185-230 В;
3 фазы/6 А
185-230 В;
3 фазы/7 А
185-230 В;
3 фазы/28 А
Стандартный выходной разъем N, C или BNC N или C N или C N или C N или C N или C N или C HN, LC или 7/16

Опции:

  • Доступен выбор частот: 2 МГц и 3,39 МГц.
  • DeviceNet.
  • Перестройка частоты.
  • Оператор Master/Slave.
  • Внутреннее фиксированное согласование.

Серия CX

comdel

Частота: любая фиксированная частота от 2 до 30 МГц. Частотная стабильность: 13,56 МГц +/ 0,005%

Характеристики:

Модель CX 600 CX 600/H CX 1250 CX 1250A CX 2500
Выходная мощность, Вт 600 600 1250 1250 2500
Нелинейное (гармоническое) искажение менее чем 30 Дб менее чем 35 Дб менее чем 30 Дб менее чем 30 Дб менее чем 30 Дб
Входное линейное напряжение/линейный ток 190-225 В;
1 фаза; 50/60 Гц/6 A
190-225 В;
1 фаза; 50/60 Гц/6 A
190-225 В;
3 фазы; 50/60 Гц/7 A
190-225 В;
1 фаза; 50/60 Гц/13 A
190-225 В;
3 фазы; 50/60 Гц/15 A
Разъём ввода/вывода 25штырьковый (опция:15ѿтырьковый), D тип 15штырьковый, D тип 15штырьковый, D тип 25штырьковый, D тип 25штырьковый, D тип
Стандартный выходной разъем N или C N или C N или C N или C HN или N

Механические характеристики:

Модель CX 600 CX 600/H CX 1250 CX 1250A CX 2500
Размеры (В x Ш x Г), см 13,3 x 48,3 x 40,6 17,8 x 24 x 48,3 13,3 x 48,3 x 40,6 17,8 x 48,3 x 48,3 17,8 x 48,3 x 54,6
Вес, кг 16 16 34 34 60
Охлаждение Принудительное воздушное охлаждение Принудительное воздушное охлаждение Вода: 1 галлон/мин (3,8 литров) Принудительное воздушное охлаждение Вода: 1,5 галлона/мин (5,7 литров)
Сертификат ETL Marked, Semi F47   ETL Marked, Semi F47   ETL Marked, Semi F47

Опции:

  • Доступно большое разнообразие входного линейного напряжения.
  • Внеѿнее регулирование частотой.
  • Оператор Master/Slave.
  • DeviceNet.

Серия CPS

comdel

Общие характеристики:

Частота: 1 частота в диапазоне от 2 до 80 МГц. Стандартный выходной разъём: N или C тип.

CPS 500:

  • Выходная мощность: 500 В.
  • Разъём ввода/вывода: 15-штырьковый, D типа (розетка).
  • Входное линейное напряжение/ток: 115/200/208/220 В; 1 фаза; 50/60 Гц; 1 кВА max.
  • Охлаждение: принудительное воздушное охлаждение.
  • Размеры (В x Ш x Г): 13,3 x 48,3 x 40,6 (см).
  • Вес: 16,3 кг.

CPS 1001:

  • Выходная мощность: 1000 Вт.
  • Разъём ввода/вывода: 15-штырьковый, D типа (розетка).
  • Входное линейное напряжение/ток: 208 В; 3 фазы; 50/60 Гц; 6 А max.
  • Охлаждение: вода, 1,5 галлонов/мин (5,7 литра), 35 0С max.
  • Разъём для подачи воды: 1/4 NPT (розетка), вход и выход.
  • Размеры (В x Ш x Г): 13,3 x 48,3 x 40,6 (см).
  • Вес: 34 кг.

Источники большой мощности серий CXH, CX 5K и СX 10K

Гибридные источники серии CXH разработаны для подведения питания больѿой мощности: 15 кВт, 25 кВт и 50 кВт и обеспечения фиксированных частот в диапазоне от 2 МГц до 40 МГц. Приложения включают: промыѿленную суѿку, сварку пластиков, рост кремниевых кристаллов и производство плоских дисплеев. Расѿирение серии СХ до больѿих мощностей стало возможным благодаря созданию источников серий CX 5K и СX 10K. Мощности этих источников 5 кВт и 10 кВт соответственно с возможностью установки частоты в

Рецензии

Еще нет отзывов об этом товаре.