Одночастотные RF источники питания

Одночастотные RF источники питания

Разработаны под высокие требования плазменных полупроводниковых установок. Приложения включают в себя: травление, RIE, ICP, RF напыление, CVD и PVD, также как и процессы индуктивного и диэлектрического нагрева в промышленных установках.

Низкочастотные источники серий CLF и CLX

CLF серия

Диапазон установленных мощностей от 600 Вт до 10'000 Вт с фиксированными частотами от 20 кГц до 2 МГц (серия CLX), от 20 кГц до 450 кГц (серия CLF) и возможностью специальной настройки в пределах ± 10% в полосе пропускания частоты.

Спецификация:

• Частотная устойчивость - ±1%
• Нестабильность выходного напряжения или тока по сети -< 1%
• Нестабильность выходного напряжения или тока по нагрузке  < 3%
• Паразитное излучение  30 Дб

Характеристики Half-Rack источников

Характеристики Full-Rack источников

Опции:

• Доступен большой выбор входного линейного напряжения.
• Оператор Master/Slave доступен только в fullrack моделях.

CLX серия

Частота: любая фиксированная частота от 20 кГц до 2 МГц*. Частотная устойчивость: 350 кГц +/ 1%. *CLX 600/H: любая фиксированная частота от 20 кГц до 800 кГц.

Характеристики CLX серии

Механические характеристики:

Опции:

• Доступен больѿой выбор входного линейного напряжения(переменный ток).
• Оператор Master/Slave.
• Внеѿнее управление частотой.
• DeviceNet.

Высокочастотные источники серий CB, СX и CPS

• Стандартные фиксированные частоты серии СВ: 13.56, 27.12, 40.68 и 60 МГц с выбором мощностей от 50 Вт до 5000 Вт
• Серия CX: выбор мощностей от 600 Вт до 3500 Вт, с возможностью выбора фиксированных частот из ряда: 2.00, 3.39, 13.56, 27.12 МГц.
• Серия CPS: выбор фиксированных частот в диапазоне от 2.00 до 80 МГц, выбор мощностей из ряда: 500 Вт,1000 Вт. Обеспечивают стабильность по частоте ± 0.005%, по мощности ± 2%.

Серия CB

• Частота: Любая фиксированная частота от 13.56 до 60 МГц, стандартная модель.
• Частотная устойчивость: +/ 0.005%.
• Частота напряжения сети питания: 50/60 Гц.
• Разъём вода/вывода: стандарт: 15-штырьковый, D типа (розетка).
  опции: 25-штырьковый, D типа (розетка).
• Нелинейное (гармоническое) искажение: менее чем 35 Дб.

Характеристики:

Просмотр таблицы в новом окне

Опции:

• Доступен выбор частот: 2 МГц и 3,39 МГц.
• DeviceNet.
• Перестройка частоты.
• Оператор Master/Slave.
• Внутреннее фиксированное согласование.

Серия CX

Частота: любая фиксированная частота от 2 до 30 МГц. Частотная стабильность: 13,56 МГц +/ 0,005%

Характеристики:

Механические характеристики:

Опции:

• Доступно большое разнообразие входного линейного напряжения.
• Внеѿнее регулирование частотой.
• Оператор Master/Slave.
• DeviceNet.

Серия CPS

Общие характеристики:

Частота: 1 частота в диапазоне от 2 до 80 МГц. Стандартный выходной разъём: N или C тип.

CPS 500:

• Выходная мощность: 500 В.
• Разъём ввода/вывода: 15-штырьковый, D типа (розетка).
• Входное линейное напряжение/ток: 115/200/208/220 В; 1 фаза; 50/60 Гц; 1 кВА max.
• Охлаждение: принудительное воздушное охлаждение.
• Размеры (В x Ш x Г): 13,3 x 48,3 x 40,6 (см).
• Вес: 16,3 кг.

CPS 1001:

• Выходная мощность: 1000 Вт.
• Разъём ввода/вывода: 15-штырьковый, D типа (розетка).
• Входное линейное напряжение/ток: 208 В; 3 фазы; 50/60 Гц; 6 А max.
• Охлаждение: вода, 1,5 галлонов/мин (5,7 литра), 35 0С max.
• Разъём для подачи воды: 1/4 NPT (розетка), вход и выход.
• Размеры (В x Ш x Г): 13,3 x 48,3 x 40,6 (см).
• Вес: 34 кг.

Источники большой мощности серий CXH, CX 5K и СX 10K

Гибридные источники серии CXH разработаны для подведения питания больѿой мощности: 15 кВт, 25 кВт и 50 кВт и обеспечения фиксированных частот в диапазоне от 2 МГц до 40 МГц. Приложения включают: промыѿленную суѿку, сварку пластиков, рост кремниевых кристаллов и производство плоских дисплеев. Расѿирение серии СХ до больѿих мощностей стало возможным благодаря созданию источников серий CX 5K и СX 10K. Мощности этих источников 5 кВт и 10 кВт соответственно с возможностью установки частоты в